電子光學(xué)凈化工程
合肥電子制造業(yè)無(wú)塵潔凈廠(chǎng)房的設計特點(diǎn)
來(lái)源：wap.0546wq.cn 作者：空氣好凈化
發(fā)布時(shí)間:2021-08-05 17:20:27點(diǎn)擊:次
隨著(zhù)計算機、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展，推動(dòng)了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展，也帶動(dòng)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展，同時(shí)對潔凈室的設計提出了更高的要求，電子制造業(yè)潔凈廠(chǎng)房的設計是一項綜合的技術(shù)，只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠(chǎng)房的設計特點(diǎn)，做到設計合理，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低，提高生產(chǎn)效率。
一、電子無(wú)塵車(chē)間凈化工程特點(diǎn)：
潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設計或規范受控，另外該類(lèi)潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過(guò)于干燥的廠(chǎng)房?jì)葮O易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō)，電子廠(chǎng)房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規定）。這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對室內空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
1、電子制造廠(chǎng)萬(wàn)級潔凈室內的噪聲級（空態(tài)）：不應大于65dB(A)
2、電子制造廠(chǎng)潔凈室垂直流潔凈室滿(mǎn)布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。
3、電子制造廠(chǎng)潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa
4、電子制造行業(yè)萬(wàn)級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值：
5、補償室內排風(fēng)量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6、保證供給潔凈室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
二、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調系統加熱器，應設置新風(fēng)，超溫斷電保護，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應設置無(wú)水保護，寒冷地區，新風(fēng)系統應設置防凍保護措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量，應取下面三項最大值：
1、保證電子制造廠(chǎng)無(wú)塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量
2、根據熱，濕負荷計算確定電子廠(chǎng)潔凈室的送風(fēng)量
3、向電子制造廠(chǎng)潔凈室內供給的新鮮空氣量
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